クリーンルーム

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Published on January 11, 2022 2:12:31 AM ● Video Link: https://www.youtube.com/watch?v=WftQzR6FfH0

Duration: 10:14

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クリーンルーム, by Wikipedia https://ja.wikipedia.org/wiki?curid=206914 / CC BY SA 3.0

#部屋
#医療
#クリーンルーム技術
クリーンルーム内部 （写真中の黄色の照明はクリーンルームとしての機能とは無関係） クリーンルームで使用される保護衣の代表例の1つ。
床がグレーチング構造で階下に気流が透過する点も注目点である。
クリーンルーム（clean room）とは、空気清浄度が確保された部屋のことである。
防塵室(ぼうじんしつ)ともいう。
電子工学、生命科学・医療、食品産業等でそれぞれに要求仕様があり、それに応じたクリーンルームの態様がある。
JIS Z 8122では、 コンタミネーションコントロールが行われている限られた空間であって、空気中における浮遊微小粒子、浮遊微生物が限定されて清浄度レベル以下に管理され、また、その空間に供給される材料、薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われている空間 と定義されている。
建設中の半導体製造工場用クリーンルーム 電子工業用途で半導体集積回路、液晶パネル、プラズマパネル、マイクロマシンなどの製造工場においては必須となっている。
これは集積回路の焼付け工程において、塵埃が隣接する回路との短絡、あるいは欠損を引き起こし不良が発生するため、清浄空間での作業が必要とされるからである。
他に精密機械などの製造工場がクリーンルームとなっていることがある。
このような工業品の製造工程で用いられるクリーンルームを工業用クリーンルーム（industrial clean room, ICR）という。
主としてバイオテクノロジーの分野で用いられるクリーンルームをバイオクリーンルーム（biological clean room, BCR）という。
主に空気中の浮遊微生物の管理が重要となる。
生命科学・医療用途 手術室、医薬品や化粧品の製造所（の一部）、滅菌医療機器の製造所や滅菌室などがクリーンルーム化されている。
塵埃を排除すれば細菌類も排除できるため、手術室などを清浄化すれば細菌に起因する汚染を予防できるという考え方に基づいている。
空中浮遊菌数と空気清浄度の5.0 µm 以上の粒子数はおよそ比例傾向（絶対評価ではない）にあることが多いため、クリーンルームとして空気中の浮遊微粒子数を制御している。
ただし、細菌類は単純に空気清浄度のみ制御すれば抑制できるものではなく、定期的な殺菌消毒やクリーンルームの運営方法、人員の入退室方法を適切に管理する必要がある。
食品用途 細菌を含め、異物、虫などの混入が許されない環境で食品製造を行うことが品質確保の面で必要な場合に、調理場や製造ラインをクリーンルーム化する場合がある。
室内の空気清浄度を管理するクリーンルームとは直接関係しないが、放射性物質の取り扱いや遺伝子組み換え実験等で、有害物質が外部に持ち出されることのないよう、建屋の遮蔽と排気の塵埃、排水・廃棄物の有害物質を除去する設備が要求される場合がある。
管理物質(汚染物質)を封じ込めて外部に拡散しないという点で、基本的にクリーンルームと構造上同様の設備を吸排気・給排水に関して逆向きに設置することとなる。
生物的な用途ではバイオハザードルームと呼ばれたりする。
空気中の塵埃を除去するため、建屋内で閉鎖された構造の区画に超高性能エアフィルタ（HEPA、ULPAなど）を通じて空気を送り込み、排気経路から流出する空気を建屋外に排気または建屋内で循環させる給排気システムを備えている。
給排気システムは用途に応じて気流の制御が行われ、一方向流式、非一方向流式がある。
この図の他に作業室の床をグレーチング構造にして気流を階下に透過させる建屋構造が用いられることがある。
電子工業用途での採用が多い。
給排気システムでは室内の圧力管理も行い、外部からの塵埃の流入を防止するため、室内気圧を外気圧より5～10 Pa程度大きくし陽圧とする。
ただし、ハザード用途の場合は室内気圧を外気圧より若干下げ、陰圧とする。
冷暖房も必要となり、特に電子工業用途では露光装置の寸法精度を確保するため、温度・湿度の管理が必要不可欠となる。
クリーンルームでは内部での塵埃の堆積防止、清掃の容易性、フィルタ交換の維持管理の容易性など、建屋の構造にも考慮が必要である。
給排気システムが一方向の垂直流式では、作業室床がダウンフローの気流を透過するグレーチング構造にして、作業室下の階下に塵埃を落下させる構造が採用されることがある。
天井の給排気装置のメンテナンス用に、天井裏は十分な高さが用意されることが多い。
また、特に清浄を...